Back to top

真空模组

真空模组,可以在10^-7Pa的真空环境下运行,耐温达200℃,真空模组的设计首要考虑机构和材料。此系列产品大部分组件采用不锈钢加工或热膨胀系数相当的并且出气率底的材料。此系列产品主要应用于真空室,高温室,高洁净度环境。

真空模组

特点

真空模组特点:

  • 一体化设计,可靠易用。

  • 标准化设计制造60、90、120三种规格,可定制其它规格

  • 工作环境温度-196℃至+200℃

  • 适用真空度10 -7  Pa 

技术规格


模组规格丝杆导程重复精度承载能力最大行程最大速度

(mm)(mm)(kg)(mm)(mm/s)
601/2/10±0.510-228001000
902/5/10/26/20±0.5
15-46800
1000
1202/5/10/16/20±0.5
20-60800
1000


第三方认证
题目 日期 大小